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压电纳米定位
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SEM纳米压痕仪能够提供在光学显微镜和电子显微镜下,实时表征和观察微/纳米尺度材料机械力学性能。通过高分辨率的力传感器、位移传感器以及自动控制方法,可记录力学性能表征测试过程中,材料表面被压入的深度和负载数据,形成力-位移曲线。
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